半導體微影製程 

Semiconductor Photolithography

課程內容

1. 半導體產業和晶片製造簡介
2. 熱氧化物與擴散製程
3. 離子佈植製程
4. 化學、物理氣相沉積製程
5. 化學機械研磨製程
6. 黃光製程
7. 蝕刻製程
8. 極紫外光微影製程簡介

預期學習成果

1. 獲取基礎理論、專業知識與生產線實務案例
2. 瞭解基礎科學在半導體晶圓製造的實際應用
3. 認識晶圓廠內各類工程師的職掌與分工

上課時間　星期五第2、3、4節（113.09.03更新）

上課地點　屏師敬業樓405（113.09.03更新）

開課單位　理學院

授課教師　陳挺煒

學分/授課時數　3/3

詳細課程資訊請至選課系統查詢　https://webap.nptu.edu.tw/Web/Secure/default.aspx

加簽時段　（113.09.03更新）113年09月03日（星期二）14：00至113年09月06日（星期五）17：00

加簽方式　（113.09.03更新）毋須列印「已選課程清單」，請逕行前來理學院辦理